エアワッシャーAHU／無塵

塵埃はもちろん、有害ガス成分、ボロン、塩素などの結晶化物質や化学物質、オゾン等を高効率で除去しますのでクリーンルームへ取り入れられる外気の処理装置として威力を発揮します。また、高価なケミカルフィルターへの負担を軽減し,高性能フィルターにはほとんど負担がかからないためにこれまでの数倍長持ちします。従って、大幅に製造にかかる経費を削減することが出来ます。

この分野では世界でも大手三社に数えられる半導体メーカーに製造工程の要となる高度な空気清浄化能力とその精度が認められております。特に、中国大陸から飛来する黄砂の非常に細かい微粒子で他の工場は製造停止を余儀なくされたが、同工場では影響を受けることなく稼動する事ができたと感謝の言葉を頂いたというエピソードがあります。

アクア・シンクロ空調システムから創り出される空気は,その特長として高湿度でも全く粘着性が無く湿り気がありません。従って、室内の機械類、特に成型機の金型などへ錆などの悪影響を及ぼすことなく静電気が発生しない湿度６０～７０％へ保つことができ、同時に塵埃を除去することが出来るので、最も適した用途であるといえます。　

アクア・シンクロ空調システムの特長は、活性化したミクロンサイズの水粒子を室内へ供給します。この超微細水粒子はクリーンルーム内に堆積する気流の影響を受けにくい０．３ミクロン以下の大きさの塵埃へ吸着し、気流を受ける大きさにし、同時に表面張力によって包含し、戻り空気に乗せて空気清浄機へ運びます。空気清浄機へ運ばれた塵埃は強力な水膜によって捕捉され水の中へ閉じ込められます。水によって捕捉された塵埃は水の強力な表面張力によって再び外へ出ることは出来ません。この作用によって室内は高度な無塵の状態に保たれます。
実際、この分野でのユーザーからは、従来のフィルター式のクリーンルームと比較して極端に不良率が低下したとの高い評価を得ています。

いろいろな化学物質の測定や、実験を行なう場合に、空気中のガス成分や塵埃が障害となったり、臭気や危険性のあるガスなどを発生させる場合があり、通常の雰囲気では困難な場合があります。そのような場合には塵埃,臭気,ガス成分を強力に取り除き、作業性と安全性を飛躍的に向上させます。

韓国、龜尾(グミ)市の大手半導体メーカーの工場（写真左）と同工場内で稼動中のアクア・シンクロＡＨＵ　タイプ　AS‐1000
（100,000CMH)　（写真右）